设备型号：MFP-3D Origin Plus
用途：可用纳米空间分辨率和皮米垂直灵敏度的压电材料的机电性能的表征和分析。
技术指标：
XY扫描范围:90umX90um可控;Z扫描范围:15um可控;
驱动电压范围:土150V范围可控;
电流测试范围:1pA~20nA可控,分辨率。
