铁电物理微纳器件与系统山西省重点实验室（以下简称“实验室”）于2024年9月经山西省科技厅批准建设，由中北大学联合中国电子科技集团公司第三十三研究所建设。

实验室聚焦铁电物理学领域前沿焦点，围绕铁电功能材料在基础效应、耦合增强、异质集成、创新器件和智能微系统等方面的基础科学问题和关键技术进行研究突破，开展新物理机制、新概念器件和集成系统应用等多方面研究，打造以“基础效应-共性技术-器件实现-系统集成”为科研布局的全链条发展方向，以山西省经济转型发展、国防装备升级为需求牵引，促进理工融合发展，强化军工特色，兼顾民用领域服务能力，重点发展其在武器装备、空间技术等领域的研究任务。

实验室依托半导体与物理学院建设，拥有国家自然科学基金委创新群体、国防科技创新团队、中北大学微纳加工中心等多个科研平台团队，实验室现有固定研究人员51人，流动人员13人，其中高级职称占比41.3%，国家重大人才工程特聘教授1人、国防科技卓越青年基金获得者1人、享受国务院政府特殊津贴2人、国家重大人才工程青年学者1人，主持承担国家重点研发计划、X73计划重点项目、国家自然科学基金（重点／优青／面上／青年）、国防基础科研重点项目、装备发展部预研重点基金等项目80余项。出版中英文著作各3部；获授权国家发明专利80余项，获山西省自然科学一等奖2项、技术发明一等奖1项，累计发表学术论文220余篇。汇集多年研究成果，实验室形成了铁电物理微纳器件与系统特色研究方向，研制的铁电物理MEMS器件与系统，为深空探测、载人航天等国家重大工程、重点武器型号提供核心关键技术支撑。