【山西省技术发明一等奖】---自驱动智能感知微系统技术及应用
【山西省自然科学一等奖】---铁电功能材料基础效应及其MEMS器件应用研究
【山西省技术发明二等奖】---基于红外光干涉技术的MEMS器件形貌测量方法与仪器
