深空探测、微纳卫星、空天武器装备技术发展迫切需要开发抗辐照、耐低温、高精度的空间MEMS传感器件。当前空间MEMS传感器件主要以硅基半导体传感器为主，强辐照、大温差等极端恶劣环境极易造成传感器的误报和失效。铁电材料因其优异的抗辐照能力而被广泛应用于航天级微纳电子器件，而基于铁电材料的MEMS传感器件在空间技术领域应用尚处空白，铁电MEMS传感器件有望实现空间环境参量高精度原位测量，为空间MEMS传感器件提供新思路和新方法。铁电MEMS传感器方向整合铁电材料和MEMS系统优势，开展铁电薄膜大面积异质集成、铁电畴动力学精准调控、传感器件设计与集成制造等基础研究与器件研发工作，研发力、热、声、光、电等多种类铁电MEMS传感器，实现强辐照、大温差等极端环境下空间环境参量的高精度原位测量，引领深空探测未来发展方向。